规范用词固相外延
英文翻译solid phase epitaxy
名词定义单晶衬底上的非晶层，在远低于单晶材料熔点或共晶点的温度下，外延再结晶的生长工艺。
所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 半导体材料制备
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年