规范用词离子束外延
英文翻译ion beam epitaxy;IBE
名词定义在真空环境中，用含有外延生长所需元素的低能离子束在衬底上生长单晶薄层的工艺。
所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 半导体材料制备
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年