规范用词椭圆缺陷
英文翻译oval defect;OD
名词定义用分子束外延技术生长Ⅲ-Ⅴ族化合物薄膜材料时，在(001)取向晶体表面上形状为椭圆形，椭圆的长轴沿<110>方向，尺寸在1~201m范围的表面型缺陷。
所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 半导体材料制备
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年