规范用词氢化物气相外延
英文翻译hydride vapor phase epitaxy;HVPE
名词定义在外延生长所需的化学组分中，至少采用一种氢化物的气相外延。
所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 半导体材料制备
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年