规范用词锁相外延
英文翻译phase-locked epitaxy;PLE
名词定义分子束外延生长过程中，通过监测反射高能电子衍射强度振荡，锁定组分原子(分子)束流挡板的开启与关闭，达到原子级平整度外延生长的技术。
所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 半导体材料制备
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年