规范用词外延
英文翻译epitaxy
名词定义利用物理或化学变化在单晶衬底上沿特定结晶学生长单晶薄膜的方法。
所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 半导体材料制备
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年