规范用词射频等离子体辅助分子束外延
英文翻译radio frequency plasma assisted molecular beam epitaxy
名词定义在分子束外延生长中，利用射频高压放电产生等离子体，提供高度活性的气态源粒子(原子、分子、离子等)，降低薄膜的生长温度，提高生长速率的技术。
所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 半导体材料制备
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年