规范用词金属有机源分子束外延
英文翻译metal-organic molecular beam epitaxy;MOMBE
名词定义对化合物半导体薄膜而言，某些组分采用金属有机化合物作为源物质，而某些组分为固态源物质的分子束外延生长技术。
所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 半导体材料制备
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年