规范用词化学束外延
英文翻译chemical beam epitaxy;CBE
名词定义将金属有机源气体和非金属氢化物等气体形成的分子束流直接喷向加热的基底表面，发生反应并有序地排列起来形成外延层的外延生长技术。
所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 半导体材料制备
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年