规范用词外延衬底
英文翻译epitaxial substrate
名词定义具有特定晶面和适当电学、光学和机械特性的用于生长外延层的洁净单晶薄片。
中文又称基片(substrate)
所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 半导体材料制备
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年