规范用词气体输运系统
英文翻译gas handling system
名词定义在化学气相沉积或外延生长系统中，向反应室提供原料气体的管路系统。
所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 半导体材料制备
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年