规范用词等离子体辅助物理气相沉积
英文翻译plasma assisted physical vapor deposition
名词定义等离子体促进的蒸发沉积和溅射沉积等的物理气相沉积技术。
所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 半导体材料制备
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年