规范用词低压化学气相沉积
英文翻译low pressure chemical vapor deposition;LP-CVD
名词定义在低于一个大气压的条件下进行的化学气相沉积。
所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 半导体材料制备
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年