规范用词冷壁外延
英文翻译cool wall epitaxy
名词定义化学气相沉积时反应器壁被冷却，而外延衬底被加热，外延生长在单晶衬底上进行，而不会发生在反应器壁上的单晶薄层制备方法。
所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 半导体材料制备
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年