规范用词热壁外延
英文翻译hot wall epitaxy;HWE
名词定义化学气相沉积时反应器由外部加热处于高温，反应剂不会在反应器壁上沉积的外延技术。
所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 半导体材料制备
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年