规范用词侧向外延
英文翻译epitaxial lateral overgrowth
名词定义带有掩模的图形衬底上进行外延时，横向生长速度快于纵向生长速度，导致起始的选择生长外延层扩展到窗口外并最终形成连续外延层的方法。
所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 半导体材料制备
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年