规范用词激光原子层外延
英文翻译laser atomic layer epitaxy
名词定义利用激光能量促进化学反应的原子层外延。
所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 半导体材料制备
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年