规范用词金属有机化合物原子层外延
英文翻译metal-organic atomic layer epitaxy
名词定义以金属有机化合物为原料生长单原子薄层的外延工艺。
所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 半导体材料制备
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年