微粗糙度

规范用词微粗糙度

英文翻译microroughness

名词定义在不规则物 (空间波长) 之间的间隔于小于1001m时的表面粗糙度分量。

所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 元素半导体材料

名词审定材料科学技术名词审定委员会

见载刊物材料科学技术名词》 科学出版社

公布时间2011年

元素半导体材料 的上级学科
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