规范用词背封
英文翻译backseal
名词定义利用低压化学气相沉积技术在硅片背表面沉淀一层二氧化硅或其他绝缘体薄膜，以抑制外延生长过程中的自掺杂。
所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 元素半导体材料
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年