规范用词洁净区
英文翻译denuded zone
名词定义在硅片正表面之下很薄的一个特定区域。该区域中非故意掺入杂质(如氧和金属杂质)的浓度和缺陷(如氧沉淀)的密度都很低。
所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 元素半导体材料
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年