规范用词外延片
英文翻译epitaxial wafer
名词定义用气相、液相、分子束等方法在基质衬底上生长的半导体单晶薄层的晶片。
所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 元素半导体材料
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年