规范用词热生长氧化物
英文翻译thermally grown oxide
名词定义对于硅片而言，利用干氧、湿氧或水汽氧化工艺形成的二氧化硅薄膜。
所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 元素半导体材料
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年