规范用词总指示读数
英文翻译total indicator reading;TIR
名词定义与基准平面平行的两个平面之间的最小垂直距离。该两平面包括晶片正表面合格质量区内或规定的局部区域内的所有的点。
所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 元素半导体材料
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年