规范用词厚度允许偏差
英文翻译allowable thickness tolerance
名词定义晶片厚度的测量值与标称值的最大允许差值。
所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 元素半导体材料
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年