规范用词翘曲度
英文翻译warp
名词定义晶片中心面与基准平面之间的最大和最小距离之差。是晶片的体性质而不是其表面特性。
所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 元素半导体材料
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年