激光热化学气相沉积

规范用词激光热化学气相沉积

英文翻译laser thermal chemical vapor deposition

名词定义激光的能量只用于局部加热基底,沉积只发生在基底被加热的部分的化学气相沉积。

所属学科材料科学技术 > 材料科学技术基础 > 材料合成、制备与加工 > 薄膜制备技术

名词审定材料科学技术名词审定委员会

见载刊物材料科学技术名词》 科学出版社

公布时间2011年

薄膜制备技术 的上级学科
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