规范用词高频磁控溅射
英文翻译high frequency magnetron sputtering
名词定义通过电极间施加高频电压获得高频放电而使靶极获得负电位的磁控溅射。
所属学科材料科学技术 > 材料科学技术基础 > 材料合成、制备与加工 > 薄膜制备技术
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年