规范用词高频感应加热蒸发
英文翻译high frequency induction heating evaporation
名词定义将装有蒸发材料的石墨或陶瓷坩埚放在水冷的高频螺旋线圈中央升温蒸发。
所属学科材料科学技术 > 材料科学技术基础 > 材料合成、制备与加工 > 薄膜制备技术
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年