规范用词反应蒸镀
英文翻译reactive evaporation deposition
名词定义在活性气体中蒸发固体材料，使活性气体的原子、分子和从蒸发源蒸发的金属原子、低价化合物分子在基底表面或气相中发生反应形成化合物薄膜的方法。
所属学科材料科学技术 > 材料科学技术基础 > 材料合成、制备与加工 > 薄膜制备技术
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年