规范用词等离子体增强化学气相沉积
英文翻译plasma enhanced chemical vapor deposition
名词定义反应由等离子体激活的化学气相沉积。
所属学科材料科学技术 > 材料科学技术基础 > 材料合成、制备与加工 > 薄膜制备技术
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年