规范用词扩展电阻法
英文翻译spreading resistance profile
名词定义通过测量金属探针与半导体接触形成的扩展电阻，根据已有的扩展电阻与电阻率的校正曲线，获得半导体微区电阻率的电学测量技术。此方法可用于测量半导体器件中载流子浓度的纵向分布等。
所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 半导体材料性能测试
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年