规范用词三探针法
英文翻译three-probe measurement
名词定义以直线排列的三支金属探针与半导体外延样品表面接触，测量反向电流-电压特征，从击穿电压计算掺杂浓度再换算电阻率值的电学测量技术。
所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 半导体材料性能测试
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年