规范用词反射差分光谱
英文翻译reflectance difference spectroscopy;RDS
名词定义在近于垂直样品表面的单色光照射下，测量样品平面内两个互相垂直方向上反射系数相对差异，获取该样品光谱信息的技术。
所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 半导体材料性能测试
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年