规范用词探针损伤
英文翻译probe damage
名词定义由探针操作引起的距离等于探针间距的坑状局部损伤。
所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 元素半导体材料
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年