规范用词抛光片
英文翻译polished wafer
名词定义经过单面或双面化学机械抛光加工的半导体晶片。
所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 元素半导体材料
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年