二次离子质谱法

规范用词二次离子质谱法

英文翻译secondary ion mass spectrometry

名词定义用能量1～20keV的一次离子束轰击固体试样，溅射出二次离子，再进行质谱分析的方法，可以检测由氢到铀的所有元素，能够进行表面微区分析和纵深分析，测出化学组分和同位素组成。