二硅化物
规范用词
二硅化物
英文翻译
disilicide
所属学科
电子学
>
电子元器件工艺与分析技术
名词审定
电子学名词审定委员会
见载刊物
《
电子学名词
》 科学出版社
公布时间
1993年
电子元器件工艺与分析技术 的上级学科
电子学
二硅化物 相关科技名词
等离子[体]溅射
plasma sputtering
射频溅射
radio frequency sputtering
磁控溅射
magnetron sputtering
共溅射
cosputtering
反应溅射
reactive sputtering
真空蒸发
vacuum evaporation
反应蒸发
reactive evaporation
离子束蒸发
ion beam evaporation
电子束蒸发
electron beam evaporation
共蒸发
coevaporation
元素靶
element target
复合靶
composite target
离子轰击
ion bombardment
薄栅氧化层
thin gate oxide
迪尔-格罗夫模型
Deal-Grove model
氮氧化硅
silicon oxynitride
多晶硅-硅化物栅
polycide gate
多孔硅氧化隔离
isolation by oxidized porous silicon;IOPS
硅化物
silicide
二硅化物
disilicide
硅栅
silicon gate
硅栅N沟道技术
silicon gate N-channel technique
硅栅自对准工艺
silicon gate self-aligned technology
钼栅工艺
molybdenum gate technology
难熔金属硅化物
refractory metal silicide
扩散
diffusion
预扩散
prediffusion
自扩散
self-diffusion
外扩散
outdiffusion
双扩散
double diffusion
间隙扩散
interstitial diffusion
替位扩散
substitutional diffusion
选择扩散
selective diffusion
掩蔽扩散
masked diffusion
场助扩散
field-aided diffusion
箱法扩散
box diffusion
闭管真空扩散
closed ampoule vacuum diffusion
液态源扩散
liquid source diffusion
气态源扩散
gas source diffusion
空位流
vacancy flow