自对准隔离工艺

规范用词自对准隔离工艺

英文翻译self-aligned isolation process

所属学科电子学 > 电子元器件工艺与分析技术

名词审定电子学名词审定委员会

见载刊物电子学名词》 科学出版社

公布时间1993年

电子元器件工艺与分析技术 的上级学科
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