规范用词离子中和谱法
英文翻译ion neutralizing spectrum
名词定义用单能惰性气体离子束轰击试样表面，当入射的离子从试样的表面的原子中获取一个电子而被中和时，能激发出俄歇电子，通过测量该俄歇电子的能谱，分析试样表面电子状态、吸附状态、成分和能带的电子能谱法。
所属学科机械工程 > 仪器仪表 > 分析仪器 > 能谱和射线分析仪器 > 能谱和射线分析仪器分析原理
名词审定机械工程名词审定委员会
见载刊物《机械工程名词（第三分册）》 科学出版社
公布时间2003年