离子注入掺杂

规范用词离子注入掺杂

英文翻译ion implantation doping

名词定义采用离子注入方式达到掺杂的目的。

所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 总论

名词审定材料科学技术名词审定委员会

见载刊物材料科学技术名词》 科学出版社

公布时间2011年

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