规范用词自掺杂
英文翻译autodoping;self-doping
名词定义在外延生长工艺中，来自衬底的掺杂杂质掺入到外延层中。
所属学科材料科学技术 > 半导体材料 > 总论
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年