金属有机源

规范用词金属有机源

英文翻译metalorganic source

名词定义高纯金属有机化合物材料,是金属有机化学气相外延和沉积的原材料。要求具有合适的结构、合适的蒸气压、合适的分解温度和很高的纯度。

所属学科材料科学技术 > 材料科学技术基础 > 材料合成、制备与加工 > 薄膜制备技术

名词审定材料科学技术名词审定委员会

见载刊物材料科学技术名词》 科学出版社

公布时间2011年

薄膜制备技术 的上级学科
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