规范用词离子束辅助沉积
英文翻译ion beam assisted deposition;IBAD
名词定义在气相沉积的同时，进行离子束轰击混合以改善薄膜性能的方法。
所属学科材料科学技术 > 材料科学技术基础 > 材料合成、制备与加工 > 表面改性和涂层技术
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年