靶室

规范用词靶室

英文翻译target chamber

名词定义放置注入样品或工件的真空室。

所属学科材料科学技术 > 材料科学技术基础 > 材料合成、制备与加工 > 表面改性和涂层技术

名词审定材料科学技术名词审定委员会

见载刊物材料科学技术名词》 科学出版社

公布时间2011年

表面改性和涂层技术 的上级学科
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