激光气相沉积

规范用词激光气相沉积

英文翻译laser vapor deposition

名词定义激光照射靶材或反应气体,使其气化为原子态,随后气态原子沉积到基材表面形成薄膜的工艺。

所属学科材料科学技术 > 材料科学技术基础 > 材料合成、制备与加工 > 表面改性和涂层技术

名词审定材料科学技术名词审定委员会

见载刊物材料科学技术名词》 科学出版社

公布时间2011年

表面改性和涂层技术 的上级学科
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