规范用词扫描探针显微术
英文翻译scanning probe microscopy;SPM
名词定义分辨率在纳米量级的测量固体样品表面实空间形貌的分析方法。根据测量的相互作用类型，可分为扫描隧道显微术、原子力显微术、磁力显微术等。
所属学科材料科学技术 > 材料科学技术基础 > 材料科学基础 > 材料的表征与测试
名词审定材料科学技术名词审定委员会
见载刊物《材料科学技术名词》 科学出版社
公布时间2011年