规范用词氩离子溅射净化
英文翻译argon ion sputtering cleaning
所属学科物理学 > 凝聚体物理学 > 特殊物相与极端条件
名词审定物理学名词审定委员会
见载刊物《物理学名词（第二版）》 科学出版社
公布时间1996年