规范用词超高真空物理气相沉积
英文翻译ultra-high-vacuum physical vapor deposition
所属学科航天科学技术 > 航天制造工艺
名词审定航天科学技术名词审定委员会
见载刊物《航天科学技术名词》 科学出版社
公布时间2005年